一、检测前环境与工具准备
洁净室环境：在≥10万级洁净室中操作，控制温湿度（建议温度20-25℃，湿度40-60%），避免环境颗粒物干扰。
专用工具与耗材：使用一次性无尘手套、滤膜（如0.5μm尼龙膜）及清洁容器，避免交叉污染。
空白验证：溶剂（如AP760）和制样设备需提前检测，确保自身杂质≤0.1mg。
二、操作流程控制
分区操作：划分独立区域（如清洗区、分析区），避免污染物扩散。
防护措施：操作时佩戴无粉丁腈手套，接触不同样品需更换手套。
三、清洗与提取技术
清洗方法：
压力冲洗法（0.1-0.5MPa）确保污染物完全脱落。
超声波清洗法适用于表面积小，数量较多零件。
灌流清洗，适用管控产品流道内洁净度（如液冷板流道）
溶剂选择：使用高纯度溶剂（如AP760、D60），避免引入杂质。
四、分析阶段防污染
颗粒计数：全自动清洁度分析仪需定期校准，统计≥5μm颗粒。
滤膜处理：过滤后80±5℃烘干称重，避免滤膜污染。
五、数据验证与记录
重复性检测：同一样品两次检测偏差需≤5%。
文件记录：详细记录操作步骤、环境参数及异常情况。